Ngay từ thời Đường Cao Tông, Võ hoàng hậu đã nắm đại quyền lớn trong triều, lần lượt mưu hại hai thái tử là Lý Hoằng (con ruột) cùng Lý Hiền (con người chị là Hàn quốc phu nhân). Cuối cùng Lý Hiển được phong làm thái tử năm 681[8].

Ngày 27 tháng 12 năm 683, Đường Cao Tông mất ở Lạc Dương[9]. Lý Hiển kế ngôi, tức Đường Trung Tông. Lợi dụng Trung Tông bận việc để tang, Võ hoàng hậu được tôn Hoàng thái hậu, lâm triều xưng chế[10][11]. Ngày 26 tháng 2 năm 683, lấy cớ Trung Tông phong cho cha vợ Vi Huyền Trinh nắm quyền trong triều, Võ Thái hậu hạ lệnh phế Trung Tông làm Lư Lăng vương, đày sang Quân châu[12]. Hôm sau, 27 tháng 2, Thái hậu hạ chiếu lập Dự vương Lý Đán làm Tân đế, sử Đường Duệ Tông, cải nguyên là Văn Minh.

Tuy nhiên mọi việc trong triều đều do Thái hậu quyết đoán, Duệ Tông không có thực quyền. Thái hậu ngay lập tức hạ lệnh đổi tên một loạt cung điện ở kinh thành và một số châu quận theo ý thích của mình, lại cho xây đền miếu thờ tổ tiên họ Võ trong kinh thành.

Mùa thu năm 684, Anh quốc công Từ Kính Nghiệp (cháu nội Lý Tích) khởi loạn chống lại Võ Thái hậu, lấy danh nghĩa khôi phục hoàng vị cho Trung Tông. Tuy nhiên cuộc khởi nghĩa không kéo dài, Thái hậu sai Lý Tri Thập và Mã Kính Thần dẹp loạn, giết được Kính Nghiệp[13]. Cuối năm đó, do nghi ngờ tể tướng Bùi Viêm muốn chống lại mình, Thái hậu sai chém đầu Bùi Viêm và giáng chức hoặc bắt giam tất cả những người cầu xin cho ông ta[14]. Sang ngày Đinh Mão tháng 9 ÂL năm 683, thái hậu lại tiếp tục bình diệt được cuộc khởi nghĩa của Vương Quả Thảo ở Quảng châu. Trong thời gian đó, thái hậu bắt đầu tìm kiếm tình nhân và làm nhiều việc dâm loạn cung trung.

Tết nguyên đán năm 686, Võ Thái hậu hạ chiếu giao lại chính quyền do Duệ Tông, nhưng Duệ Tông biết bà ta không thực tâm, nên không dám chấp nhận. Thái hậu tiếp tục lâm triều xưng chế. Cùng năm đó, Thái hậu sai chế ra một cái hộp bằng đồng đặt trước triều đường, để cho những người hiến kế hay hoặc dự báo được tinh tượng, hoặc muốn tố cáo gian ác, hoặc muốn tiến cử nhân tài... mà ngại không dám nói thì cho bỏ thư vào đó.

Thái hậu từ việc Từ Kính Nghiệp tạo phản, nghi ngờ các lão thần không phục mình, bèn muốn giết một số người để ra oai. Bà ta phái mật thám theo dõi các quan lại trong triều, rồi bảo nếu ai thấy có quan lại nào có ý chống lại thái hậu thì hãy cáo mật. Bà thường không hỏi nguyên do và thực giả, cho bãi chức hoặc giết chết đại thần đó. Người người vì việc cáo mật này cũng được thăng chức cao.

Năm 687, Thái hậu nhân danh Đường Duệ Tông phong vương cho các hoàng tử con ông: Thành Mĩ làm Hằng vương, Long Cơ làm Sở vương, Long Phạm làm Vệ vương, Long Nghiệp làm Triệu vương. Cũng trong năm đó, đại thần Lưu Y Chi dù có lời khen thái hậu nhưng lại bị bà ta ghét bỏ, sau đó thái hậu lại phát hiện Y Chi muốn Duệ Tông nắm quyền, bèn giam vào ngục. Duệ Tông dù không tham gia chính sự nhưng vẫn hạ lệnh xá miễn, nhưng Y Chi biết rằng hành động của Duệ Tông càng làm ông ta chết nhanh hơn. Quả nhiên sau đó thái hậu bắt Y Chi tự vẫn.

Võ Thái hậu không dừng lại ở việc xưng chế mà còn muốn làm nữ đế. Mùa thu năm 688, các hoàng thân gồm Việt vương Lý Trinh cùng con là Lang Nha vương Lý Xung khởi binh, ban hịch nói Duệ Tông bị thái hậu vây bức trong cung cấm, nên nay khởi binh Cần vương. Thái hậu sai Khúc Sùng Dụ, Sầm Trường Sai thảo phạt, đánh bại Việt vương, Việt vương tự sát. Thái hậu sai đổi họ của Lý Trinh thành Hủy.[15][16]. Sau vụ này, Thái hậu cho tàn sát nhiều tôn tộc Lý thị như Hàn vương Lý Nguyên Quỹ, Lỗ vương Lý Linh Quỳ, Thường Lạc công chúa..., rồi cũng đổi tất cả họ sang họ Hủy.

Năm 690, nhiều phe cánh của Thái hậu trong triều dâng sớ khuyên bà ta xưng đế. Duệ Tông biết thế cục bất lợi, cũng đành xin Thái hậu lên ngôi. Thái hậu bằng lòng. Ngày 8 tháng 10 năm 690, Duệ tông thoái vị, Võ thái hậu đăng cơ, đổi quốc hiệu thành Đại Chu. Nhà Đường bị gián đoạn. Duệ Tông bị thái hậu giáng làm người kế vị, nhưng được gọi là Hoàng tự thay vì thái tử.[17]